三轴加速度传感器的主要类型有压阻式、压电式、静电电容式三种，将测量对象的加速度转换为传感器单元的电阻/电压/电容的变化，利用转换电路将传感器单元的变化值转换为电压值，根据信号进行放大和滤波处理，得到模拟量，将模拟量处理为合适的稳定的输出信号，此时输出的信号为电压值，最后通过ADC转换器（模数转换器），转换为数字信号。 三轴加速度传感器的主要感应方式是测量电阻值、静电电容值、应力、应变、位移等微小物理量的变化，并用电压信号表现这些变化量。 是用于将加速度这一物理信号转换为容易测量的电信号的测试仪器。 差容式力平衡加速度传感器将测量的加速度转换为电容器的电容变化。 实现这种功能的方法有可变间隙、可变面积、可变介电常数3种，差动式力平衡加速度传感器利用可变间隙，且采用差动式结构，结构简单，动态响应好，可进行无接触式测量，灵敏度高，分辨率强由于自身电容一般很小，几pF到几百pF，其电容达到几米的近年来，集成电路得到了广泛应用，使电子电路与传感器极板紧密接触，逐渐克服了寄生电容、非线性等缺点。
搭载在压缩机上的三轴加速度传感器是由滚动轴承支撑的转子，其振动传递到轴承盖，安装在轴承盖上的振动速度传感器利用内部的运动线圈切断磁力线输出电压，将信号发送到监视器，测试机械故障并报警。
