非接触式高精度激光测振仪可以通过显微光学系统实现对微小物体的振动测量，可以精确测量MEMS等微小结构元器件的振动和形貌，激光光斑达微米量级，并可通过显微成像系统实时观察物体的振动状态（频率、速度、加速度、位移）等多维信息。

高精度激光测振仪可以通过显微光学系统实现对微小物体的振动测量，可以精确测量MEMS等微小结构元器件的振动和形貌，激光光斑达微米量级，并可通过显微成像系统实时观察物体的振动状态（频率、速度、加速度、位移）等多维信息。