非接触式高精度激光测振仪可以通过显微光学系统实现对微小物体的振动测量，可以精确测量MEMS等微小结构元器件的振动和形貌，激光光斑达微米量级，并可通过显微成像系统实时观察物体的振动状态（频率、速度、加速度、位移）等多维信息。

高精度激光测振仪可以通过显微光学系统实现对微小物体的振动测量，可以精确测量MEMS等微小结构元器件的振动和形貌，激光光斑达微米量级，并可通过显微成像系统实时观察物体的振动状态（频率、速度、加速度、位移）等多维信息。

扫描式激光测振仪LV-SC400通过在单点激光测振仪前面加两个扫描镜，运动控制系统控制扫描镜的偏转角度，来实现X、Y方向上的扫描测振；配备摄像系统，可实现人机互动，配备软件分析系统，可实现二维、三维动画显示及数据分析等。全场扫描式激光测振仪为物体结构振动特性可视化测量分析提供了先进的非接触式测量技术，能快速扫描物体表面并灵活定义测量区域和测量点。