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高精度激光测振仪

高精度激光测振仪

简要描述:高精度激光测振仪可以通过显微光学系统实现对微小物体的振动测量,可以精确测量MEMS等微小结构元器件的振动和形貌,激光光斑达微米量级,并可通过显微成像系统实时观察物体的振动状态(频率、速度、加速度、位移)等多维信息。

产品型号: LV-S01-M

所属分类:扫描式激光测振仪

更新时间:2023-10-07

详细说明:

高精度激光测振仪工作原理 :
激光测振仪的核心是一台高精密激光干涉仪和一台信号处理器。高精密激光干涉仪内的He-Ne激光器发出的偏振光(设频率为F0)由分光镜分成两路,一路作为测量,一路用于参考。测量光通过声光调制器具有一定频移(F),再被聚焦到被测物体表面,物体振动引起频移(f =2v/λ)。系统收集反射光并与参考光汇聚在传感器上,这样两束光在传感器表面产生干涉,干涉信号的频率为F+f,携带了被测物体的振动信息,信号处理器将频移信号转换为速度和位移信号。
 
采用的是非接触式的测量方法,具有出色的频率和相位响应,可准确地对各种物体的振动、位移、速度及加速度等进行测量,在满足高精度、高速测量需求的同时,还可以弥补接触式测量无法测量的缺陷。它主要由干涉仪及振动控制器两部分组成,并被广泛应用于各高校/研究所以及各大工厂。
 
技术指标:

激光测振仪采用非接触式动态干涉测量技术,在以下各方面有广泛的应用:
1、微机电系统(MEMS)动态测试;
2、汽车工业:发动机、齿轮、制动器、轮胎、排气系统、车身等;
3、马达回转动态精度测试;
4、机床动态精度测试;
5、生命科学、医学、动物学研究;
6、桥梁、建筑振动测试。
 

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